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(1) 真空滅弧室的真空度
真空滅弧室是高壓戶內外真空斷路器的關鍵部件，它是采用玻璃或陶瓷作支撐及密封，內部有動、靜觸頭和屏蔽罩，室內真空為10-3～10-6Pa的負壓，保證其開斷時的滅弧性能和絕緣水平。隨著真空滅弧室使用時間的增長和開斷次數的增多，以及受外界因素的作用，其真空度逐步下降，下降到一定程度將會影響它的開斷能力和耐壓水平。因此，真空斷路器在使用過程中必須定期檢查滅弧室的真空。主要應做到如下兩點：
①定期測試真空滅弧室的真空度，進行工頻耐壓試驗(對地及相間42kV，斷口48kV)。最好也進行沖擊耐壓試驗（對地及相間75kV，斷口85kV)。。
②運行人員應對高壓戶內外真空斷路器定期巡視。特別對玻璃外殼真空滅弧室，可以對其內部部件表面顏色和開斷電流時弧光的顏色進行目測判斷。當內部部件表面顏色變暗或開斷電流時弧光為暗紅色時，可以初步判斷真空已嚴重下降。這時，應馬上通知檢測人員進行停電檢測。
(2) 防止過電壓
高壓戶內外真空斷路器具有良好的開斷性能，有時在切除電感電路并在電流過零前使電弧熄滅而產生截流過電壓，這點必須引起注意。對于油浸變壓器不僅耐受沖擊電壓值較高，而且雜散電容大，不需要專門加裝保護；而對于耐受沖擊電壓值不高的干式變壓器或頻繁操作的滯后的電爐變壓器，就應采取安裝金屬氧化物避雷器或裝設電容等措施來防止過電壓。
(3) 嚴格控制觸頭行程和超程
國產各種型號的12kV真空滅弧室的觸頭行程為11±1mm左右，超程為3±0.5mm。應嚴格控制觸頭的行程和超程，按照產品安裝說明書要求進行調整。在大修后一定要進行測試，并且與出廠記錄進行比較。不能誤以為開距大對滅弧有利，而隨意增加真空斷路器的觸頭行程。因為過多地增加觸頭的行程，會使得斷路器合閘后在波紋管產生過大的應力，引起波紋管損壞，破壞斷路器密封，使真空度降低。
(4) 嚴格控制分、合閘速度
高壓戶內外真空斷路器的合閘速度過低時，會由于預擊穿時間加長，而增大觸頭的磨損量。又由于真空斷路器機械強度不高，耐振性差，如果斷路器合閘速度過高會造成較大的振動，還會對波紋管產生較大沖擊力，降低波紋管壽命。通常真空斷路器的合閘速度為0.6±0.2m/s，分閘速度為1.6±0.3m/s左右。對一定結構的真空斷路器有著最佳分合閘速度，可以按照產品說明書要求進行調節。
(5) 觸頭磨損值的監控
真空滅弧室的觸頭接觸面在經過多次開斷電流后會逐漸磨損，觸頭行程增大，也就相當波紋管的工作行程增大，因而波紋管的壽命會迅速下降，通常允許觸頭磨損最大值為3mm左右。當累計磨損值達到或超過此值，真空滅弧室的開斷性能和導電性能都會下降，真空滅弧室的使用壽命即已到期。
為了能夠準確地控制每個真空滅弧室觸頭的磨損值，必須從滅弧室開始安裝使用時起，每次預防性試驗或維護時，就準確地測量開距和超程并進行比較，當觸頭磨損后累計減小值就是觸頭累計磨損值。當然，當觸頭磨損使動、靜觸頭接觸不良時，通過回路電阻的測試也可以發現問題。
(6) 做好極限開斷電流值的統計
在日常運行中，應對高壓戶內外真空斷路器的正常開斷操作和短路開斷情況進行記錄。當發現極限開斷電流值ΣI達到廠家給出的極限值時，應更換真空滅弧室。
